Drucken
FA 02
result
Untersuchungen zum Zusammenhang von Plasma-, Partikel- und Schichteigenschaften mittels optischer Meßverfahren
IGF-Vorhaben-Nr.:
96.220 N
Laufzeit:
01.10.1993
-
30.09.1995
Forschungseinrichtungen:
- Lehrstuhl und Institut für Oberflächen- technik im Maschinenbau (IOT)
- Fakultät f.Elektro-u.Informationstechnik Institut für Plasmatechnik u. Mathematik
Fachgebiete:
,
,
Wirtschaftszweige:
,
,