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FA 10
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Stressarme Montage von Mikrobauteilen mit Mikroklebtechniken
IGF-Vorhaben-Nr.:
13.361 N
Laufzeit:
01.08.2002
-
31.12.2004
Forschungseinrichtungen:
- Fraunhofer-Institut f. Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM
- Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie
Fachgebiete:
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Wirtschaftszweige:
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