Drucken
FA 10
result
Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren
IGF-Vorhaben-Nr.:
13.554 B
Laufzeit:
01.01.2003
-
31.12.2004
Forschungseinrichtungen:
- Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik IWM
- Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
Fachgebiete:
,
,
Wirtschaftszweige:
,
,