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FA 07
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Laserlöten von Silizium/Glas mittels Glaslot zur Kapselung von Mikrosensoren auf Waferebene
IGF-Vorhaben-Nr.:
12.644 B
Laufzeit:
01.12.2000
-
30.11.2002
Forschungseinrichtungen:
- Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie
- und Werkstoffprüfung GmbH
Fachgebiete:
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Wirtschaftszweige:
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